X射线光电子能谱法是一种表面分析方法,提供的是样品表面的元素含量与形态。
如果辅以离子刻蚀手段,再利用XPS作为分析方法,则可以实现对样品的深度分析。
一、XPS的特点
1. 可以分析除 H 和 He 以外的所有元素;
2. 提供有关化学键方面的信息,即直接测量价层电子及内层电子轨道能级;
3. 是一种高灵敏超微量的表面分析技术,分析所需试样量极少,样品分析深度为0.5-10nm 。
二、XPS的应用
1. 元素定性分析
2. 元素半定量分折
3. 固体表面分析
4. 化合物结构鉴定
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