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ICP-MS中,ICP起到离子源的作用,高温等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子,形成一价正离子;
质谱负责质量筛选和分析,通过选择不同质核比(m/z)的离子通过来检测某个离子的强度,进而分析计算出某种元素的强度。
ICP-MS可以定量分析元素周期表中大多数金属元素,检出限在1ppt (即1ng/L)以下;
同时可以分析部分非金属元素(例如B、As、Se、P、S、Si、Te等),检出限低于1ppb(即1ug/L)。
ICP-MS目前被广泛应用于半导体、地质、环境以及食品检测等行业中。
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