质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC),它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束处延、CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气相色谱仪,光导制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。 用途:用于对于气体或者液体的质量 特点:精度高,重复性好
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