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用于超高真空设备中转动部件,采用磁力耦合结构,用于从真空外向真空内扭力传递。
1、外形尺寸约60*60*170mm(60*60*160mm);
2、安装尺寸48*48mm,4个∮6.6通孔;
3、定位尺寸∮35mm;
4、法兰采用胶圈密封,真空内采用陶瓷轴承;
5、漏率好于1*10E-7PaL/S;
6、传动力矩不小于1NM。
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