产品名称:稳流控压表
产品型号:ATO-MFC50-10T
详细参数:
稳流控压表是通过控制模块的控制,可以精确实现气体注入密封腔室,为防止控制模块损坏时无法完全关闭而一直充气或者手动模式下流量计无法完全关闭而干扰手动调节,所以流量计后需增加通断控制的阀门。手动调节阀可以快速充气到所需压力范围,压力传感器测量混气腔的压力以供自动模式下充到指定压力,手动模式下可视调节。如果需要清洗管路时,就需要先用真空泵抽真空,以达到净化管路环境的目的。
一、 设备特点
a) 能够向密闭腔内定压充装工作气体;
b)介质气体压力可实时精密测控,可通过触摸屏操作,也可以通过电脑可进行远程控制,能够自由设定压力大小和充气比例;
c)介质气体可控注入,且充气流速可调;
d)通过对管道进行流洗清洁,实现腔内残余气体的有效排除;
e)采用模块化设计,功能布局合理紧凑;
f)操作系统具有自动和手动两种工作模式:自动模式、手动模式;
g)支持采集数据的历史记录查询及导出,除实现自动模式所含全部功能外,还能够人工修改参数、气体流速等。
二、 技术参数
a) 控制压力范围 系统充气压力 0-1333Pa(绝压),压力精度0.2%R.D;
b) 压力控制范围可调,控制精度 ±1Pa; 连接口DN25法兰,带手动球阀
c) 便携式设计,外形尺寸440*400*240mm(宽*深*高)。
d) 操作采用7寸触摸屏,也可用电脑远程控制;
e) 所有外接接口均为1/4卡套接头
f) 漏率≤1.0×10-7Pa·L/s。
g) 设备气路部分及电气部分集成在一个机箱内;
h) 控制系统有手动模式和自动模式2种工作模式选择方式;
i) 流速可调:10sccm;