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主流型号推荐
Brooks 5700 系列(0–5 L/min)
精度 ±0.5% FS,量程比 20:1;接液 316L 不锈钢;1/4" NPT;适用于高纯 / 常规气体。
Aalborg GFM171-09
量程 0–5 L/min,精度 ±1.0% FS;1/4" NPT / 卡套;LCD 数显;支持手持 / 在线;氦气校准。
Bronkhorst FLEXI-FLOW Compact
精度 ±0.5% Rd+±0.1% FS;内置温压补偿;多气体数据库;IP40;适用于精密控制。
国产性价比:精量 ACU20FD-L
量程 2 SCCM–30 SLM(覆盖 5 L/min);精度 ±0.5% FS;量程比 100:1;毛细管热式;适配实验室 / 配气系统。
选型关键
介质:普通气体(空气 / N₂/Ar)选 316L+PTFE;腐蚀 / 高纯(HCl/HF/SO₂)选 316L EP+FFKM。
功能:仅监测选 MFM;需闭环控制选 MFC(带调节阀)。
接口:气路小选 1/8"卡套;大流量选 1/4" NPT。
环境:防爆 / 洁净室需对应认证(Ex d/IP66)。
安全与使用
禁油脱脂:氧气 / 高纯气体必须脱脂处理。
慢开慢关:先通气再调量程;关机先降量程再断气。
定期校准:确保精度,建议每 6–12 个月校准一次。