X光电子能谱法是一种表面分析方法,提供的是样品表面的元素含量与形态,一般,其信息深度约为10nm以内。如果辅以离子刻蚀手段,再利用XPS作为分析方法,则可以实现对样品的深度分析。
一、电子能谱法的特点
1、可以分析除 H 和 He 以外的所有元素;可以直接测定来自样品单个能级光电发射电子的能量分布,且直接得到电子能级结构的信息。
2、从能量范围看,如果把红外光谱提供的信息称之为“分子指纹”,那么电子能谱提供的信息可称作“原子指纹”。它提供有关化学键方面的信息,即直接测量价层电子及内层电子轨道能级。而相邻元素的同种能级的谱线相隔较远,相互干扰少,元素定性的标识性强。
3、是一种无损分析。
4、是一种高灵敏超微量表面分析技术。分析所需试样极少量即可,样品分析深度0.5-10nm 。
二、X 射线光电子能谱法的应用:
1、元素定性分析
2、元素定量分折
3、固体表面分析
4、化合物结构签定